| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Солодуха, В. А. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | - |
| dc.date.accessioned | 2022-09-29T07:10:53Z | - |
| dc.date.available | 2022-09-29T07:10:53Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Солодуха, В. А. Быстрые термические процессы в технологии создания электронной элементной базы для аэрокосмической техники : автореф. дисс. ... доктора технических наук : 05.27.01 / В. А. Солодуха ; науч. рук. В. А. Пилипенко. – Минск : БГУИР, 2020. – 46 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/48255 | - |
| dc.description.abstract | Целью работы является установление закономерностей влияния быстрой термической обработки на поверхностные свойства кремния, диэлектрические и ионно-легированные слои, твердофазный синтез PtSi и разработка технологических процессов, обеспечивающих улучшение электрических характеристик элементной базы для аэрокосмической техники. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | ru_RU |
| dc.subject | аэрокосмическая техника | ru_RU |
| dc.subject | барьеры Шоттки | ru_RU |
| dc.title | Быстрые термические процессы в технологии создания электронной элементной базы для аэрокосмической техники | ru_RU |
| dc.type | Book chapter | ru_RU |
| Appears in Collections: | 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
|
