| Title: | Системы проекционного переноса широкоформатных изображений в технологии сборки СБИС методом перевернутого кристалла |
| Other Titles: | Systems of projection large-format images transfer for IC Flip Chip packaging technology |
| Authors: | Агейченко, А. С. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;степпер;флипчип;фотолитография;Stepper;Flip Chip;Photolithography |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Агейченко, А. С. Системы проекционного переноса широкоформатных изображений в технологии сборки СБИС методом перевернутого кристалла: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / А. А. Агейченко ; науч. рук. В. Е. Матюшков. - Мн.: БГУИР, 2014. - 24 с. |
| Abstract: | Цель работы: исследование и разработка новых методов, алгоритмов и моделей по оптимизации проекционного переноса широкоформатных изображений в технологии сборки интегральных схем методом перевернутого кристалла для создания конкурентоспособного оборудования. |
| Alternative abstract: | Goal of the work: research and development of new methods, algorithms and models to optimize the transfer of large format projection images in IC Flip-Chip Technology for a competitive equipment developmen |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/4833 |
| Appears in Collections: | 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
|
