Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/4904
Title: Исследование оптических характеристик слоев AlN, полученных методами реактивного магнетронного и ионно-лучевого распыления
Other Titles: Optical characteristics of AlN thin films deposited by DC magnetron and ion-beam sputtering study
Authors: Ермоленко, М. В.
Достанко, А. П.
Голосов, Д. А.
Завадский, С. М.
Keywords: доклады БГУИР;нитрид алюминия;ионно-лучевое распыление;магнетронное распыление;коэффициент поглощения;показатель преломления
Issue Date: 2015
Publisher: БГУИР
Citation: Исследование оптических характеристик слоев AlN, полученных методами реактивного магнетронного и ионно-лучевого распыления / М. В. Ермоленко [ и др.] // Доклады БГУИР. - 2015. - № 5 (91). - С. 119 - 121.
Abstract: Исследованы оптические характеристики тонких пленок нитрида алюминия, нанесенных методами реактивного магнетронного и реактивного ионно-лучевого распыления. Установлены зависимости показателя преломления и коэффициента поглощения пленок от процентного содержания азота в смеси рабочих газов. Выявлено, что метод реактивного магнетронного распыления позволяет наносить слои нитрида алюминия с более низким коэффициентом поглощения, чем метод реактивного ионно-лучевого распыления и с коэффициентом преломления близким к значению объемного образца.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/4904
Appears in Collections:№5 (91)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Ermolenko_Issledovaniye.PDF745.11 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.