https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49510| Title: | МЭМС на основе анодного оксида алюминия для применения в высокочастотных схемах |
| Authors: | Козлов, В. С. Цаладонов, А. Д. Биран, С. А. Короткевич, Д. А. Короткевич, А. В. |
| Keywords: | материалы конференций;МЭМС-конденсаторы;микроэлектромеханические системы;высокочастотные схемы |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | МЭМС на основе анодного оксида алюминия для применения в высокочастотных схемах / Козлов В. С. [и др.] // Информационные радиосистемы и радиотехнологии 2022 : материалы научно-технической конференции, Минск, 29–30 ноября 2022 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: В. А. Богуш [и др.]. – Минск : БГУИР, 2022. – С. 290–291. |
| Abstract: | В данной работе рассмотрены области применения переменных МЭМС-конденсаторов. Рассмотрены способы регулирования величины емкости МЭМС-конденсаторов. Описан принцип работы переменного конденсатора, в котором изменение величины зазора между обкладками осуществляется с помощью многослойного термоактюатора. Предложена конструкция переменного МЭМС-конденсатора на основе анодного оксида алюминия. |
| Alternative abstract: | In this paper, the areas of application of variable MEMS capacitors are considered. Methods for regulating the capacitance value of MEMS-capacitors are considered. The principle of operation of a variable capacitor is described, in which the change in the gap between the plates is carried out by a multilayer thermal actuator. A design of a variable MEMS-capacitor based on anodic aluminum oxide is proposed. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49510 |
| Appears in Collections: | Информационные радиосистемы и радиотехнологии 2022 : научно-техническая конференция |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| MEMS_na_osnove.pdf | 395.97 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.