| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Чубенко, Е. Б. | - |
| dc.contributor.author | Гревцов, Н. Л. | - |
| dc.contributor.author | Бондаренко, В. П. | - |
| dc.contributor.author | Гаврилин, И. М. | - |
| dc.contributor.author | Павликов, А. В. | - |
| dc.contributor.author | Дронов, А. А. | - |
| dc.contributor.author | Волкова, Л. С. | - |
| dc.contributor.author | Гаврилов, С. А. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2022-12-20T11:33:00Z | - |
| dc.date.available | 2022-12-20T11:33:00Z | - |
| dc.date.issued | 2022 | - |
| dc.identifier.citation | Спектры комбинационного рассеяния тонких пленок сплава кремний/германий на основе пористого кремния / Е. Б. Чубенко [и др.] // Журнал прикладной спектроскопии. – 2022. – Т. 89, No 5. – C. 614-620. – DOI : 10.47612/0514-7506-2022-89-5-614-620. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49542 | - |
| dc.description.abstract | Исследованы закономерности изменения состава тонких пленок сплава кремний/германий, сформированного на подложке монокристаллического кремния методом электрохимического осаждения германия в матрицу пористого кремния с последующим быстрым термическим отжигом (БТО) при температуре 750—950 °С. Анализ образцов методом спектроскопии комбинационного рассеяния света показал, что увеличение температуры БТО приводит к уменьшению концентрации германия в формируемом слое. Уменьшение продолжительности БТО при заданной температуре позволяет получить пленки с большей концентрацией германия и контролировать состав формируемых тонких пленок сплава кремний/германий путем изменения температуры и продолжительности БТО. Полученные результаты по управлению составом пленок сплава кремний-германий могут быть использованы при создании устройств функциональной электроники, термоэлектрических преобразователей энергии и оптоэлектронных приборов. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Институт физики им. Б.И. Степанова НАН Беларуси | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | пористый кремний | ru_RU |
| dc.subject | спектроскопия комбинационного рассеяния света | ru_RU |
| dc.subject | электрохимическое осаждение | ru_RU |
| dc.title | Спектры комбинационного рассеяния тонких пленок сплава кремний/германий на основе пористого кремния | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
