DC Field | Value | Language |
dc.contributor.author | Таратын, И. А. | - |
dc.contributor.author | Горох, Г. Г. | - |
dc.contributor.author | Лозовенко, А. А. | - |
dc.contributor.author | Кевра, Е. В. | - |
dc.coverage.spatial | Минск | ru_RU |
dc.date.accessioned | 2023-01-10T07:25:31Z | - |
dc.date.available | 2023-01-10T07:25:31Z | - |
dc.date.issued | 2022 | - |
dc.identifier.citation | Полупроводниковый газовый сенсор с нагревателем из монокристаллического кремния = Semiconductor gas sensor with monocrystal silicon heater / И. А. Таратын [и др.] // Приборостроение — 2022 : материалы 15-ой Международной научно-технической конференции, Минск,16–18 ноября 2022 г. / Белорусский национальный технический университет. – Минск : БНТУ, 2022. – С. 461-462. | ru_RU |
dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49684 | - |
dc.description.abstract | Представлены результаты исследований полупроводникового газового сенсора с нагревателем кремниевого нагревателя. Максимальное значение химического отклика на воздушную смесь с содержанием 0,49 об% CH4 получено при мощности нагревателя 108.12-111.47 мВт. | ru_RU |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.publisher | БНТУ | ru_RU |
dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
dc.subject | монокристаллический нагреватель | ru_RU |
dc.subject | полупроводниковый газовый сенсор | ru_RU |
dc.subject | вольтамперные характеристики | ru_RU |
dc.title | Полупроводниковый газовый сенсор с нагревателем из монокристаллического кремния | ru_RU |
dc.title.alternative | Semiconductor gas sensor with monocrystal silicon heater | ru_RU |
dc.type | Article | ru_RU |
local.description.annotation | The results of studies of a semiconductor gas sensor with a silicon heater made of single-crystal silicon are presented. The current-voltage and temperature dependences of the silicon heater are given. The maximum value of the chemical response to 0.49 vol% CH4 was obtained at a heater power of 108.12-111.47 mW. | ru_RU |
Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|