| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Литвинов, Е. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2015-10-29T11:23:36Z | |
| dc.date.accessioned | 2017-07-20T07:51:41Z | - |
| dc.date.available | 2015-10-29T11:23:36Z | |
| dc.date.available | 2017-07-20T07:51:41Z | - |
| dc.date.issued | 2012 | - |
| dc.identifier.citation | Литвинов, Е. А. Реконфигурируемые механизмы параллельной кинематики для многокоординатных систем перемещений в сборочном и оптико-механическом оборудовании микроэлектроники: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Е. А. Литвинов; науч. рук. Карпович С. Е. - Минск : БГУИР, 2012. - 22 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/4975 | - |
| dc.description.abstract | Цель работы: разработка реконфигурируемых исполнительных механизмов параллельной кинематикис шестью степенями свободы для многокоординатных систем перемещений на презиционных приводах прямого действия для сборочного и оптико-механического оборудывания микроэлектроники, обладающего повышенными совокупными характеристиками точности и быстродействия. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектроника | ru_RU |
| dc.subject | структурный синтез | ru_RU |
| dc.subject | динамическая модель | ru_RU |
| dc.subject | microelectronics | ru_RU |
| dc.subject | structural synthesis | ru_RU |
| dc.subject | dynamic mode | ru_RU |
| dc.title | Реконфигурируемые механизмы параллельной кинематики для многокоординатных систем перемещений в сборочном и оптико-механическом оборудовании микроэлектроники | ru_RU |
| dc.title.alternative | Reconfigurable parallel mechanisms for multi-axis motion systems in assembly and optical-mechanical equipment of microelectronics | ru_RU |
| dc.type | Abstract of the thesis | ru_RU |
| local.description.annotation | The aim of the work: development of reconfigurable executable parallel mechanisms having six degrees of freedom for multi-axis motion systems built on high-precision direct-drive actuators for assembly and optical-mechanical equipment of microelectronics with the enhanced cumulative characteristics of precision and performance. | - |
| Appears in Collections: | 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
|
