Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49890
Title: Способ обратной литографии
Other Titles: Пат. 7220 Респ. Беларусь
Authors: Лыньков, Л. М.
Прудник, А. М.
Болдышева, И. П.
Белятко, Д. П.
Keywords: патенты;полупроводниковые микросхемы;микросхемы
Issue Date: 2005
Publisher: Национальный центр интеллектуальной собственности
Citation: Способ обратной литографии : пат. 7220 Респ. Беларусь : МПК H 01L 21/033 / Лыньков Л. М., Прудник А. М., Болдышева И. П., Белятко Д. П. ; заявитель и патентообладатель УО Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – № a 19990582 ; заявл. 10.06.1999 ; опубл. 30.09.2005. – 2 с.
Abstract: Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано в производстве полупроводниковых микросхем.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49890
Appears in Collections:Изобретения

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Pat_7220.pdf69.19 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.