Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49901
Title: Способ формирования диэлектрических пленок
Other Titles: Пат. 6426 Респ. Беларусь
Authors: Сокол, В. А.
Пинаева, М. М.
Keywords: патенты;оксидные пленки;диэлектрические пленки
Issue Date: 2004
Publisher: Национальный центр интеллектуальной собственности
Citation: Способ формирования диэлектрических пленок : пат. 6426 Респ. Беларусь : МПК H 01L 21/316 / Сокол В. А., Пинаева М. М. ; заявитель и патентообладатель УО Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – № a 19980565 ; заявл. 12.06.1998 ; опубл. 30.09.2004. – 5 с.
Abstract: Настоящее изобретение относится к области электронной технологии, в частности к процессу изготовления диэлектрических анодных оксидных пленок (АОП), содержащих редкоземельные металлы (РЗМ), и может быть использовано для изготовления всех видов изделий микроэлектроники, основанных на применении, в частности, в гибридных и полупроводниковых схемах, МДМ-структурах, активных, линейных и нелинейных элементах, СВЧ-устройствах и датчиках излучения в широком диапазоне длин волн.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49901
Appears in Collections:Изобретения

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Pat_6426.pdf191.12 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.