https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49901
Title: | Способ формирования диэлектрических пленок |
Other Titles: | Пат. 6426 Респ. Беларусь |
Authors: | Сокол, В. А. Пинаева, М. М. |
Keywords: | патенты;оксидные пленки;диэлектрические пленки |
Issue Date: | 2004 |
Publisher: | Национальный центр интеллектуальной собственности |
Citation: | Способ формирования диэлектрических пленок : пат. 6426 Респ. Беларусь : МПК H 01L 21/316 / Сокол В. А., Пинаева М. М. ; заявитель и патентообладатель УО Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – № a 19980565 ; заявл. 12.06.1998 ; опубл. 30.09.2004. – 5 с. |
Abstract: | Настоящее изобретение относится к области электронной технологии, в частности к процессу изготовления диэлектрических анодных оксидных пленок (АОП), содержащих редкоземельные металлы (РЗМ), и может быть использовано для изготовления всех видов изделий микроэлектроники, основанных на применении, в частности, в гибридных и полупроводниковых схемах, МДМ-структурах, активных, линейных и нелинейных элементах, СВЧ-устройствах и датчиках излучения в широком диапазоне длин волн. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49901 |
Appears in Collections: | Изобретения |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Pat_6426.pdf | 191.12 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.