| Title: | Система прецизионных пространственных перемещений на основе планарных приводов прямого действия для оборудования производства изделий электронной техники |
| Other Titles: | The System of Precision Spatial Motion on the Basis of Planar Direct Drives for Microelectronics Production Equipment |
| Authors: | Агранович, А. А. |
| Keywords: | микроэлектроника;оптико-механическое оборудование;механизм параллельной кинематики;система управления;планарный позиционер;мехатронная система;верификация модели;microelectronics;optical-mechanical equipment;parallel kinematics mechanism;control system;planar drive;mechanotronic system;model verification |
| Issue Date: | 2007 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Агранович, А. А. Система прецизионных пространственных перемещений на основе планарных приводов прямого действия для оборудования производства изделий электронной техники: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / А. А. Агранович ; науч. рук. Карпович С. Е. - Мн.: БГУИР, 2007. - 23 с. |
| Abstract: | Цель работы: разработка системы прецизионных пространственных перемещений с шестью степенями свободы на трех планарных позиционерах как механо-аппаратно-программного комплекса для реализации сложных программируемых движений в оборудовании производства изделий электронной техники. |
| Alternative abstract: | The aim of the work: development of system of precision spatial movement with six degrees of freedom based on three planar positioners as mechanical, hardware and software complex for implementation of compound program motion in microelectronics production equipment. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/4993 |
| Appears in Collections: | 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
|
