Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50001
Title: Устройство для финишной очистки подложек
Other Titles: А. с. 449399 СССР
Authors: Достанко, А. П.
Пикуль, М. И.
Гойденко, П. П.
Кулагин, Ю. А.
Keywords: патенты;электронная техника;технологическое оборудование
Issue Date: 1974
Publisher: Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий
Citation: Устройство для финишной очистки подложек : а. с. 449399 СССР : МПК H 01/ 7/ 68 / Достанко А. П., Пикуль М. И., Гойденко П. П., Кулагин Ю. А. ; заявитель и патентообладатель Минский радиотехнический институт. – № 1790887/26-25 ; заявл. 31.05.1972 ; опубл. 05.11.1974. – 2 с.
Abstract: Изобретение относится к технологическому оборудованию электронной техники и может найти применение для очистки деталей, например подложек, полупроводниковых приборов.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50001
Appears in Collections:Изобретения

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Pat_449399.pdf102.2 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.