https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50001
Title: | Устройство для финишной очистки подложек |
Other Titles: | А. с. 449399 СССР |
Authors: | Достанко, А. П. Пикуль, М. И. Гойденко, П. П. Кулагин, Ю. А. |
Keywords: | патенты;электронная техника;технологическое оборудование |
Issue Date: | 1974 |
Publisher: | Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий |
Citation: | Устройство для финишной очистки подложек : а. с. 449399 СССР : МПК H 01/ 7/ 68 / Достанко А. П., Пикуль М. И., Гойденко П. П., Кулагин Ю. А. ; заявитель и патентообладатель Минский радиотехнический институт. – № 1790887/26-25 ; заявл. 31.05.1972 ; опубл. 05.11.1974. – 2 с. |
Abstract: | Изобретение относится к технологическому оборудованию электронной техники и может найти применение для очистки деталей, например подложек, полупроводниковых приборов. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50001 |
Appears in Collections: | Изобретения |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Pat_449399.pdf | 102.2 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.