| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Лабунов, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Сокол, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Маев, А. А. | - |
| dc.contributor.author | Радионов, А. А. | - |
| dc.contributor.author | Еремин, А. П. | - |
| dc.contributor.author | Гусев, А. Ф. | - |
| dc.contributor.author | Чмель, Е. А. | - |
| dc.coverage.spatial | Москва | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2023-03-23T06:44:56Z | - |
| dc.date.available | 2023-03-23T06:44:56Z | - |
| dc.date.issued | 1984 | - |
| dc.identifier.citation | Устройство для контроля и управления скоростью осаждения и толщиной тонких пленок при напылении : а. с. 1124258 А СССР : МПК G 05 B 23/02, G 01 R 33/12 / Лабунов В. А., Сокол В. А., Маев А. А., Радионов А. А., Еремин А. П., Гусев А. Ф., Чмель Е. А. ; заявитель и патентообладатель Минский радиотехнический институт. – № 3629091/24-24 ; заявл. 27.07.1983 ; опубл. 15.11.1984. – 11 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50659 | - |
| dc.description.abstract | Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к устройствам для контроля и управления скоростью осаждения и управления скоростью осаждения и толщиной тонких пленок при напылении. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий | ru_RU |
| dc.subject | патенты | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектроника | ru_RU |
| dc.subject | тонкие пленки | ru_RU |
| dc.title | Устройство для контроля и управления скоростью осаждения и толщиной тонких пленок при напылении | ru_RU |
| dc.title.alternative | А. с. 1124258 А СССР | ru_RU |
| dc.type | Other | ru_RU |
| Appears in Collections: | Изобретения
|
