https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50811| Title: | Применение систем автоматизированного проектирования для учета механических напряжений при разработке неохлаждаемых тепловых детекторов болометрического типа |
| Other Titles: | Application of Cad Systems to Accounting for Mechanical Stresses in the Development of Uncooled Thermal Detectors of the Bolometric Type |
| Authors: | Чан Ван Чиеу Ловшенко, И. Ю. Стемпицкий, В. Р. Корсак, К. В. Чан Туан Чунг Дао Динь Ха Колос, В. В. |
| Keywords: | цифровая трансформация;микроболометры;неохлаждаемые тепловые детекторы;механические напряжения |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Применение систем автоматизированного проектирования для учета механических напряжений при разработке неохлаждаемых тепловых детекторов болометрического типа=Application of Cad Systems to Accounting for Mechanical Stresses in the Development of Uncooled Thermal Detectors of the Bolometric Type / Чан Ван Чиеу [и др.] // Цифровая трансформация. – 2023. – Т. 29, № 1. – С. 72–80. |
| Abstract: | В статье приведен сравнительный анализ характеристик основных типов болометров. Исследовано конструктивное решение неохлаждаемого теплового детектора болометрического типа, сформированного по технологии микроэлектромеханических систем. Посредством компьютерного моделирования в современных системах автоматизированного проектирования в микроэлектронике для оценки влияния механических напряжений, возникающих в конструктивных материалах при их формировании, на вели- чину деформации выполнен статический механический анализ. Установлено, что для обеспечения нормального функционирования микроболометра (уменьшения максимального отклонения пленки от номинального значения) необходимо уменьшить внутренние механические напряжения в пленке NiCr. Для пленок Si 3 N 4 , напротив, это значение следует увеличивать. |
| Alternative abstract: | A comparative analysis of the characteristics of the main types of bolometers is indicated in the article. The constructive solution of an uncooled thermal detector of the bolometric type, formed using the technology of microelectromechanical systems, is studied. By means of computer simulation in modern computer-aided design systems in microelectronics, a static mechanical analysis was performed to assess the effect of mechanical stresses arising in structural materials during their formation on the magnitude of deformation. It has been established that to ensure the normal functioning of the microbolometer (to reduce the maximum deviation value of the film from the nominal value), it is necessary to reduce the internal mechanical stresses in the NiCr film. For the Si 3 N 4 films, on the contrary, this value should be increased. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50811 |
| DOI: | http://dx.doi.org/10.35596/1729-7648-2023-29-1-72-80 |
| Appears in Collections: | Том 29, № 1 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Chan_Primenenie.pdf | 819.88 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.