Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50824
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЛыньков, Л. М.-
dc.contributor.authorСоловьев, В. В.-
dc.contributor.authorПаркун, В. М.-
dc.contributor.authorВорозов, Н. Н.-
dc.coverage.spatialМоскваru_RU
dc.date.accessioned2023-04-03T08:52:49Z-
dc.date.available2023-04-03T08:52:49Z-
dc.date.issued1978-
dc.identifier.citationУстройство для измерения сопротивления проводящих пленок : а. с. 624177 СССР : МПК G 01 R 27/02 / Л. М. Лыньков, В. В. Соловьев, В. М. Паркун, Н. Н. Ворозов ; заявитель и патентообладатель Минский радиотехнический институт. – № 2472336/18-21; заявл. 06.04.1977 ; опубл. 15.09.1978 – 2 с. : ил.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50824-
dc.description.abstractИзобретение относится к области измерения электрических переменных величин и может быть использовано, например, в микроэлектронике для измерения сопротивления проводящих пленок в процессе изготовления интегральных микросхем.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherГосударственный комитет СССР по делам изобретений и открытийru_RU
dc.subjectпатентыru_RU
dc.subjectпроводящие пленкиru_RU
dc.subjectинтегральные микросхемыru_RU
dc.subjectизмерительная техникаru_RU
dc.titleУстройство для измерения сопротивления проводящих пленокru_RU
dc.title.alternativeА. с. 624177 СССРru_RU
dc.typeOtherru_RU
Appears in Collections:Изобретения

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Pat_624177.pdf106.49 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.