| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Полонин, А. К. | - |
| dc.contributor.author | Дидковский, В. С. | - |
| dc.contributor.author | Музыченко, О. М. | - |
| dc.contributor.author | Квасов, Н. Т. | - |
| dc.contributor.author | Прохоренко, Н. Л. | - |
| dc.coverage.spatial | Москва | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2023-04-04T06:54:12Z | - |
| dc.date.available | 2023-04-04T06:54:12Z | - |
| dc.date.issued | 1986 | - |
| dc.identifier.citation | Способ контроля физико-механических характеристик нарушенного поверхностного слоя полупроводниковых пластин : а. с. 1226069 А СССР : МПК G 01 H 13/00 / Полонин А. К., Дидковский В. С., Музыченко О. М., Квасов Н. Т., Прохоренко Н. Л. ; заявитель и патентообладатель Минский радиотехнический институт. – № 3757077/24-28 ; заявл. 21.06.1984 ; опубл. 23.04.1986. – 3 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50856 | - |
| dc.description.abstract | Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для определения однородности поверхностного слоя полупроводниковых пластин. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий | ru_RU |
| dc.subject | патенты | ru_RU |
| dc.subject | измерительная техника | ru_RU |
| dc.subject | полупроводниковые пластины | ru_RU |
| dc.title | Способ контроля физико-механических характеристик нарушенного поверхностного слоя полупроводниковых пластин | ru_RU |
| dc.title.alternative | А. с. 1226069 А СССР | ru_RU |
| dc.type | Other | ru_RU |
| Appears in Collections: | Изобретения
|
