| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Данилович, Н. И. | - |
| dc.contributor.author | Сокол, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Костюченко, С. А. | - |
| dc.coverage.spatial | Москва | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2023-04-06T06:16:14Z | - |
| dc.date.available | 2023-04-06T06:16:14Z | - |
| dc.date.issued | 1979 | - |
| dc.identifier.citation | Устройство для измерения сопротивления проводящих пленок : а. с. 653580 СССР : МПК G 01 R 27/02 / Н. И. Данилович, В. А. Сокол, С. А. Костюченко ; заявитель и патентообладатель Минский радиотехнический институт. – № 2481624/18-21 ; заявл. 03.05.1977 ; опубл. 25.03.1979 – 2 с. : ил. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50903 | - |
| dc.description.abstract | Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано для контроля сопротивления металлических пленок в процессе их формирования на рельефных подложках. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий | ru_RU |
| dc.subject | патенты | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектроника | ru_RU |
| dc.subject | устройства контроля | ru_RU |
| dc.subject | измерительная техника | ru_RU |
| dc.title | Устройство для измерения сопротивления проводящих пленок | ru_RU |
| dc.title.alternative | А. с. 653580 СССР | ru_RU |
| dc.type | Other | ru_RU |
| Appears in Collections: | Изобретения
|
