| Title: | Формирование мембранных датчиков расхода газа с терморезистивными чувствительными элементами |
| Other Titles: | Formation of Diaphragm Gas Flow Sensors with Thermoresistive Sensing Elements |
| Authors: | Высоцкий, В. Б. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;датчик;мембрана;терморезистор;никель;платина;механические напряжения;нитрид кремния;поликристаллический кремний;наноструктурированный материал;sensor;diaphragm;thermistor;nickel;platinum;stresses;silicon nitride;polysilicon;nanostructured material |
| Issue Date: | 2009 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Высоцкий, В. Б. Формирование мембранных датчиков расхода газа с терморезистивными чувствительными элементами: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / В. Б. Высоцкий; науч. рук. В. А. Сокол. - Мн.: БГУИР, 2009. - 22 с. |
| Abstract: | Цель работы: разработка новых конструктивно-технологических методов формирования тонкопленочных многослойных мембран, являющихся одним из основных элементов датчиков расхода газа, а также разработка методов и выбор оптимальных режимов получения терморезистивных чувствительных элементов на основе пленок никеля и платины. |
| Alternative abstract: | Objective of research: is the development of the new constructive and technological methods for formation of thin-fllm multilayer diaphragms which constitute one of the major elements of gas flow sensors, and also the development of the methods and selection of the optimal conditions for implementing Ni and Pt thermistors as sensing elements (SE) of the sensor. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5144 |
| Appears in Collections: | 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
|
