| Title: | Современные процессы обработки материалов в плазмотронах комбинированного типа |
| Other Titles: | Modern processes of materials processing in combined type plasma torches |
| Authors: | Гришанков, И. В. |
| Keywords: | материалы конференций;плазмотроны;сверхвысокочастотные разряды;плазменное травление |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Гришанков, И. В. Современные процессы обработки материалов в плазмотронах комбинированного типа = Modern processes of materials processing in combined type plasma torches / Гришанков И. В. // Электронные системы и технологии : сборник материалов 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 17–21 апреля 2023 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2023. – С. 529–530. |
| Abstract: | Данный анализ позволяет определить место и роль плазмотронов комбинированного типа в технологии плазменной обработки материалов изделий микроэлектроники. Приведены основные процессы обработки, которые осуществимы с применением комбинированного разряда. |
| Alternative abstract: | This analysis makes it possible to determine the place and role of combined-type plasma torches in the technology of plasma processing of materials of microelectronics products. The main processing operations that are feasible with the use of a combined discharge are given. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/51444 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 59-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2023)
|
