| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Смурага, Е. С. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2023-05-22T12:23:29Z | - |
| dc.date.available | 2023-05-22T12:23:29Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | - |
| dc.identifier.citation | Смурага, Е. С. Анализ особенностей плазменной очистки и модификации поверхностей оптических элементов = Analysis of the features of plasma cleaning and surface modification of optical elements / Смурага Е. С. // Электронные системы и технологии : сборник материалов 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 17–21 апреля 2023 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2023. – С. 547–548. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/51510 | - |
| dc.description.abstract | Проведён обзор особенностей плазменной очистки и модификации поверхностей из различных материалов, применяемых в оптике и микроэлектронике. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектроника | ru_RU |
| dc.subject | оптика | ru_RU |
| dc.subject | плазменная обработка | ru_RU |
| dc.title | Анализ особенностей плазменной очистки и модификации поверхностей оптических элементов | ru_RU |
| dc.title.alternative | Analysis of the features of plasma cleaning and surface modification of optical elements | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| local.description.annotation | The article provide an overview of the features of plasma cleaning and surface modification of materials that are used in optics and microelectronics. | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 59-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2023)
|
