| Title: | Методы и средства формирования программируемых движений в оборудовании производства изделий микроэлектроники |
| Other Titles: | Methods and means for the forming of programmable motions in equipment for manufacturing of microelectronic Products |
| Authors: | Дайняк, И. В. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;программируемое движение;методы и средства формирования движений;привод прямого действия;микрошаговое управление;сплайновая интерполяция;Programmable motion;methods and means for the forming of motions;direct drive;microstepping control;spline interpolation |
| Issue Date: | 2006 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Дайняк, И. В. Методы и средства формирования программируемых движений в оборудовании производства изделий микроэлектроники: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / И. В. Дайняк; науч. рук. С. Е. Карпович. - Минск: БГУИР, 2006. - 24 с. |
| Abstract: | Цель работы состоит в разработке методов и средств формирования программных движений, позволяющих повысить точность и быстродействие прецизионного оборудования производства изделий микроэлектроники. |
| Alternative abstract: | The aim of thesis is consisted of developing of methods and means for the forming of programmable motions, which allow increasing accuracy and operating speed of precision equipment for manufacturing of microelectronic products. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5156 |
| Appears in Collections: | 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
|
