| Title: | Двухкоординатная система перемещений для сборочного оборудования производства изделий микроэлектроники |
| Other Titles: | Two-Coordinate Motion System for Assembly Equipment for the Manufacturing of Microelectronic Products |
| Authors: | Азентани, Дау Мохамед |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;микроэлектроника;сборочное оборудование;планарный привод;система управления;мехатронная система;верификация модели;программное обеспечение;microelectronics;assembly equipment;planar drive;control system;mechatronic system;model verification;software |
| Issue Date: | 2006 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Азентани, Дау Мохамед Двухкоординатная система перемещений для сборочного оборудования производства изделий микроэлектроники: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Дау Мохамед Азентани; науч. рук. С. Е. Карпович . - Мн.: БГУИР, 2006. - 22 с. |
| Abstract: | Цель работы состоит в разработке двухкоординатной системы перемещений для сборочного оборудования микроэлектроники на основе планарного привода прямого действия с системой управления на базе процессора серии TMS 320. |
| Alternative abstract: | The aim of the work is development of two-coordinate motion system for assembly equipment based on direct planar drive with control system based on TMS 320 processor. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5158 |
| Appears in Collections: | 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
|
