| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Демидов, Е. Д. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2023-06-14T12:25:27Z | - |
| dc.date.available | 2023-06-14T12:25:27Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | - |
| dc.identifier.citation | Демидов, Е. Д. Один из подходов к обеспечению качества эпитаксиального технологического процесса наращивания тонких монокристаллических слоев на подложку / Е. Д. Демидов // Информационные системы и технологии : сборник тезисов докладов 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 17–23 апреля 2023 г. / Институт информационных технологий Белорусского государственного университета информатики и радиоэлектроники ; редкол.: М. Л. Маковский [и др.]. – Минск, 2023. – С. 9–13. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/52034 | - |
| dc.description.abstract | В работе проведена оценка параметров эпитаксиального технологического процесса наращивания монокристаллических кремниевых пластин для повышения его качества. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | монокристаллические подложки | ru_RU |
| dc.subject | эпитаксии | ru_RU |
| dc.subject | физика | ru_RU |
| dc.title | Один из подходов к обеспечению качества эпитаксиального технологического процесса наращивания тонких монокристаллических слоев на подложку | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | Информационные системы и технологии : 59-я научная конференция аспирантов, магистрантов и студентов (2023)
|
