Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/52209
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorХамаде, Б. З.-
dc.contributor.authorКотов, Д. А.-
dc.coverage.spatialМинскru_RU
dc.date.accessioned2023-06-22T12:16:50Z-
dc.date.available2023-06-22T12:16:50Z-
dc.date.issued2023-
dc.identifier.citationХамаде, Б. З. Технология холодной атмосферной плазмы и ее применение для обработки поверхности и нанесения покрытий / Б. З. Хамаде, Д. А. Котов // Радиотехника и электроника : сборник материалов 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель 2023 / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2023. – С. 185–187.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/52209-
dc.description.abstractВ сообщении приводятся результаты аналитических исследований применения плазмы генерируемой при атмосферном давлении и ее видах разрядов для использования в микроэлектронике и нанотехнологиях.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectматериалы конференцийru_RU
dc.subjectбарьерные разрядыru_RU
dc.subjectатмосферная плазмаru_RU
dc.subjectнанесение покрытийru_RU
dc.titleТехнология холодной атмосферной плазмы и ее применение для обработки поверхности и нанесения покрытийru_RU
dc.typeArticleru_RU
Appears in Collections:Радиотехника и электроника : материалы 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2023)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Hamade_Tehnologiya.pdf575.28 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.