| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Лаппо, А. И. | - |
| dc.contributor.author | Масло, В. В. | - |
| dc.contributor.author | Ярмолик, В. И. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2023-06-27T11:50:19Z | - |
| dc.date.available | 2023-06-27T11:50:19Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | - |
| dc.identifier.citation | Лаппо, А. И. Моделирование движения лазера по заданной траектории для формирования переходных отверстий / А. И. Лаппо, В. В. Масло, В. И. Ярмолик // Информационные технологии и управление : материалы 59-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 17–21 апреля 2023 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Л. Ю. Шилин [и др.]. – Минск, 2023. – С. 45. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/52329 | - |
| dc.description.abstract | В данной статье рассматривается проблема формирования переходных отверстий в кремниевой пластине. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | переходные отверстия | ru_RU |
| dc.subject | кремниевые пластины | ru_RU |
| dc.subject | лазеры | ru_RU |
| dc.title | Моделирование движения лазера по заданной траектории для формирования переходных отверстий | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | Информационные технологии и управление : материалы 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2023)
|
