| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Воробьева, А. И. | - |
| dc.contributor.author | Уткина, Е. А. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
| dc.date.accessioned | 2023-08-16T12:15:36Z | - |
| dc.date.available | 2023-08-16T12:15:36Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | - |
| dc.identifier.citation | Воробьева, А. И. Металлизация переходных отверстий в кремниевых пластинах для создания трехмерных микроструктур / А. И. Воробьева, Е. А. Уткина // Технические средства защиты информации : тезисы докладов ХXI Белорусско-российской научно-технической конференции, Минск, 6 июня 2023 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Т. В. Борботько [и др.]. – Минск, 2023. – С. 24–25. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/52496 | - |
| dc.description.abstract | При изготовлении современных ИМС наиболее серьезные технологические проблемы связаны с формированием металлических межсоединений. Монтаж кремниевых кристаллов по принципу трехмерной сборки кристаллов (3D-технология) позволяет в значительной мере решить эти проблемы. | en_US |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | БГУИР | en_US |
| dc.subject | материалы конференций | en_US |
| dc.subject | трехмерные микроструктуры | en_US |
| dc.subject | металлические межсоединения | en_US |
| dc.subject | кремниевые пластины | en_US |
| dc.title | Металлизация переходных отверстий в кремниевых пластинах для создания трехмерных микроструктур | en_US |
| dc.type | Article | en_US |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2023
|
