| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Шахвердиев, М. А. | - |
| dc.contributor.author | Чернаусик, О. М. | - |
| dc.contributor.author | Биран, С. А. | - |
| dc.contributor.author | Короткевич, А. В. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
| dc.date.accessioned | 2023-08-22T06:36:31Z | - |
| dc.date.available | 2023-08-22T06:36:31Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | - |
| dc.identifier.citation | Активные элементы МЭМС на основе двухслойных мембранных структур / М. А. Шахвердиев [и др.] // Технические средства защиты информации : тезисы докладов ХXI Белорусско-российской научно-технической конференции, Минск, 6 июня 2023 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Т. В. Борботько [и др.]. – Минск, 2023. – С. 100. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/52558 | - |
| dc.description.abstract | Двухслойные мембранные структуры находят широкое применение в качестве активных элементов в исполнительных и сенсорных устройствах, применяемых в современных средствах защиты информации. Использование таких структур позволяет расширить динамический диапазон чувствительности изготавливаемых на их основе сенсорных устройств. | en_US |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | БГУИР | en_US |
| dc.subject | материалы конференций | en_US |
| dc.subject | микроэлектромеханические системы | en_US |
| dc.subject | мембранные структуры | en_US |
| dc.subject | защита информации | en_US |
| dc.title | Активные элементы МЭМС на основе двухслойных мембранных структур | en_US |
| dc.type | Article | en_US |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2023
|
