| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Лабунов, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Баранов, И. Л. | - |
| dc.contributor.author | Черных, А. Г. | - |
| dc.date.accessioned | 2014-07-24T11:50:45Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-19T09:38:51Z | - |
| dc.date.available | 2014-07-24T11:50:45Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-19T09:38:51Z | - |
| dc.date.issued | 2014 | - |
| dc.identifier.citation | Лабунов, В. А. Создание бесшаблонного производства СБИС // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ–БГУИР (Минск, 18–19 марта 2014 года) : материалы конф. В 2 ч. Ч. 2 / редкол. : А. Н. Осипов [и др.]. – Минск : БГУИР, 2014. - C.61-62 | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-985-543-038-5 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/527 | - |
| dc.description.abstract | Производство СБИС с индивидуальной обработкой пластин в вакуумной кластерной системе с использованием бесшаблонной технологии, реализуемой лазерным генератором изображений. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | бесшаблонная технология | ru_RU |
| dc.subject | лазерный генератор | ru_RU |
| dc.subject | минифабрика | ru_RU |
| dc.subject | вакуумная кластерная система | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.title | Создание бесшаблонного производства СБИС | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | Секция «Микро- и наноэлектроника»
|
