https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5280| Title: | Сильноточные источники ионов низких энергий для модификации поверхности и синтеза тонкопленочных структур |
| Other Titles: | High current low energy ion sources for surface modification and thin film synthesis |
| Authors: | Котов, Д. А. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;низковольтный разряд;источник ионов;интегрированная ионно-плазменная система;модификация поверхности;синтез тонкопленочных структур;low voltage discharge;ion source;integrated ion-plasma system;surface modification;thin film structure synthesis |
| Issue Date: | 2005 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Котов, Д. А. Сильноточные источники ионов низких энергий для модификации поверхности и синтеза тонкопленочных структур: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Д. А. Котов; науч. рук. А. П. Достанко. - Мн.: БГУИР, 2005. - 22 с. |
| Abstract: | Целью работы является разработка сильноточных разрядных систем с замкнутым холловским током, исследование и совершенствование процессов высокоэффективной ионно-лучевой обработки. |
| Alternative abstract: | The aim of the work is the development of high-current gas-discharge ion sources with a closed Hall current, research and perfecting the processes of high efficacy ion-beam processing. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5280 |
| Appears in Collections: | 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.