| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Зайцев, Д. В. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
| dc.date.accessioned | 2023-10-17T07:48:21Z | - |
| dc.date.available | 2023-10-17T07:48:21Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | - |
| dc.identifier.citation | Зайцев, Д. В. Свойства тонких пленок силицида тантала, полученных электронно-лучевым соиспарением в вакууме / Д. В. Зайцев // Научная конференция учащихся колледжа : материалы 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 17–21 апреля 2023 / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минский радиотехнический колледж ; редкол.: В. В. Шаталова [и др.]. – Минск : БГУИР, 2023. – С. 290–291. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/53209 | - |
| dc.description.abstract | Данная работа посвящена исследованию влияния параметров процесса роста (отношения скоростей испарения кремния и тантала) и последующего гомогенизирующего отжига на электрофизические и структурно-морфологические свойства пленок Tasi, а также на внутренние напряжения, развиваемые в них. | en_US |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | БГУИР | en_US |
| dc.subject | материалы конференций | en_US |
| dc.subject | химия | en_US |
| dc.subject | электронно-лучевые испарения | en_US |
| dc.subject | тонкие пленки | en_US |
| dc.title | Свойства тонких пленок силицида тантала, полученных электронно-лучевым соиспарением в вакууме | en_US |
| dc.type | Article | en_US |
| Appears in Collections: | Научная конференция учащихся колледжа : материалы 59-й научной конференции (2023)
|
