| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Жаворонок, И. А. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
| dc.date.accessioned | 2023-10-20T07:38:07Z | - |
| dc.date.available | 2023-10-20T07:38:07Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | - |
| dc.identifier.citation | Жаворонок, И. А. Исследование влияния СВЧ плазмохимической обработки на зарядовые состояния полупроводниковых структур интегральных микросхем : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-39 80 03 / И. А. Жаворонок ; науч. рук. С. И. Мадвейко. – Минск : БГУИР, 2023. – 10 с. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/53325 | - |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | БГУИР | en_US |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | en_US |
| dc.subject | технические науки | en_US |
| dc.subject | СВЧ плазма | en_US |
| dc.subject | полупроводниковых структуры | en_US |
| dc.subject | интегральные микросхемы | en_US |
| dc.title | Исследование влияния СВЧ плазмохимической обработки на зарядовые состояния полупроводниковых структур интегральных микросхем | en_US |
| dc.type | Thesis | en_US |
| Appears in Collections: | 1-39 80 03 Электронные системы и технологии
|
