https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/53344| Title: | Исследование возможностей получения устойчивых микроэлектромеханических систем путем управления внутренними механическими напряжениями в нитриде кремния |
| Authors: | Демидович, С. А. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;микроэлектромеханические системы;компьютерное моделирование |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Демидович, С. А. Исследование возможностей получения устойчивых микроэлектромеханических систем путем управления внутренними механическими напряжениями в нитриде кремния : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-36 80 08 / С. А. Демидович ; науч. рук. Н. В. Вышинский. – Минск : БГУИР, 2023. – 9 с. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/53344 |
| Appears in Collections: | 1-36 80 08 Инженерная геометрия и компьютерная графика |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Demidovich_Issledovanie.pdf | 154.95 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.