| Title: | Формирование координатной сетки дискретности высокого разрешения для повышения точности систем перемещений оборудования микроэлектроники |
| Other Titles: | The forming of high resolution coordinate mesh of discontinuity for the increasing of accuracy of microelectronic equipment motion systems |
| Authors: | Огер, В. П. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;координатная сетка дискретности;система перемещений;оборудывание микроэлектроники;coordinate mesh of discontinuity;motion system;microelectronic equipment |
| Issue Date: | 2007 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Огер В. П. Формирование координатной сетки дискретности высокого разрешения для повышения точности систем перемещений оборудования микроэлектроники: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / В. П. Огер; науч. рук. С. В. Карпович. - Минск : БГУИР, 2007. - 22 с. |
| Abstract: | Цель работы состоит в разработке математических моделей и алгоритмов формирования координатной сетки дискретности высокого разрешения, методики и алгоритмов определения набора оптимальных уровней квантования управляющих токов фаз для повышения точности систем прецизионного оборудывания микроэлектроники без реализации обраных связей по положению в системе управления. |
| Alternative abstract: | The aim of thesis is consisted of developing of mathematic models and algorithms for the forming of high resolution coordinate mesh of discontinuity, methods and algorithms for the defining of set of optimal quantization levels of phase control currents that increases the positioning accuracy of precision microelectronic equipment motion systems without the realizing position feedbacks inside the control system. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5335 |
| Appears in Collections: | 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
|
