| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Плиговка, А. Н. | - |
| dc.date.accessioned | 2016-01-11T08:14:43Z | |
| dc.date.accessioned | 2017-07-20T07:50:09Z | - |
| dc.date.available | 2016-01-11T08:14:43Z | |
| dc.date.available | 2017-07-20T07:50:09Z | - |
| dc.date.issued | 2013 | - |
| dc.identifier.citation | Плиговка, А. Н. Прецизионные термостабильные резистивные и емкостные элементы интегральных микросхем на основе наноструктурированных пленок вентильных металлов и композиционных анодных металлоксидов: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.16.08 / А. Н. Плиговко; науч. рук. Г. Г. Горох. - Мн.: БГУИР, 2013. - 24 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5414 | - |
| dc.description.abstract | Цель работы: установление закономерностей формирования металлоксидных пленок с островково-сетчатой и столбиково-матричной наноструктурой методом электрохимического анодирования тонкопленочной системы Al/Та, определение их морфологических, структурных и электрофизических характеристик, а также разработка на их основе конструкций и технологий изготовления прецизионных термостабильных резистивных и емкостных элементов интегральных микросхем. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | ru_RU |
| dc.subject | электрохимическое анодирование | ru_RU |
| dc.subject | пористый оксид алюминия | ru_RU |
| dc.subject | оксид тантала | ru_RU |
| dc.subject | electrochemical anodization | ru_RU |
| dc.subject | porous anodic alumina | ru_RU |
| dc.subject | tantalum oxide | ru_RU |
| dc.title | Прецизионные термостабильные резистивные и емкостные элементы интегральных микросхем на основе наноструктурированных пленок вентильных металлов и композиционных анодных металлоксидов | ru_RU |
| dc.title.alternative | Precision thermostable resistive and capacitive elements of integrated circuits based on nanostructured valve metal films and composite anodic metal oxides | ru_RU |
| dc.type | Abstract of the thesis | ru_RU |
| local.description.annotation | Objective: the establishment of ways of metal oxide film formation with island-grid and column-matrix nanostructures by electrochemical anodization of the bilayer Al/Та system, the determination of their morphological, structural, electrical proper-ties, and the development on their basis design and manufacturing technologies of pre-cision thermostable resistive and capacitive elements of integrated circuits | - |
| Appears in Collections: | 05.16.08 Нанотехнологии и наноматериалы (в электронике) (техническая и физико-математическая отрасли науки)
|
