https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/54272| Title: | Формирование пленок оксида ванадия для неохлаждаемых приемников инфракрасного излучения реактивным магнетронным распылением |
| Authors: | Нгуен, Динь Туен |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;тонкие пленки;электрофизические свойства;микроболометрические приемники |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Нгуен, Динь Туен. Формирование пленок оксида ванадия для неохлаждаемых приемников инфракрасного излучения реактивным магнетронным распылением : автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Динь Туен Нгуен ; науч. рук. Д. А. Голосов. – Минск : БГУИР, 2021. – 21 с. |
| Abstract: | Целью исследования является установление закономерностей и разработка метода формирования тонких пленок оксида ванадия высоковакуумным импульсным реактивным магнетронным распылением, методов контроля и управления составом, структурой, электрофизическими свойствами пленок, которые определяют возможность их использования в качестве активных слоев неохлаждаемых микроболометрических приемников излучения. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/54272 |
| Appears in Collections: | 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Avtoreferat-Nguen-Din-Tuen.pdf | 1.1 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.