https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/56242| Title: | Формирование наноразмерных пленок Fe на поверхности пористого оксида алюминия для элементов электроники |
| Authors: | Воробьева, А. И. Уткина, Е. А. |
| Keywords: | материалы конференций;пленки железа;магнитные пленки;наноструктурированные материалы |
| Issue Date: | 2024 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Воробьева, А. И. Формирование наноразмерных пленок Fe на поверхности пористого оксида алюминия для элементов электроники / А. И. Воробьева, Е. А. Уткина // Технические средства защиты информации : тезисы докладов ХXII Белорусско-российской научно-технической конференции, Минск, 12 июня 2024 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Т. В. Борботько [и др.]. – Минск, 2024. – С. 25–26. |
| Abstract: | Разработан метод получения наноразмерных пленок железа на поверхности пористого анодного оксида алюминия (ПАОА) с различными топологическими параметрами. ПАОА используется в качестве основы с рельефной пористой поверхностью, на которую методом ионно-лучевого распыления осаждаются тонкие пленки железа, толщиной до 100 нм. В результате на поверхности ПАОА из атомов железа образуется сетка наноразмерной толщины с наноразмерными геометрическими параметрами (порами), соответствующими параметрам ПАОА, нанопористая магнитная пленка. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/56242 |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2024 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Vorob'eva_Formirovanie.pdf | 530.97 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.