| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Якушев, A. B. | - |
| dc.contributor.author | Ревенько, Д. В. | - |
| dc.contributor.author | Биран, С. А. | - |
| dc.contributor.author | Короткевич, A. B. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
| dc.date.accessioned | 2024-06-26T13:53:16Z | - |
| dc.date.available | 2024-06-26T13:53:16Z | - |
| dc.date.issued | 2024 | - |
| dc.identifier.citation | Изолированные токопроводящие каналы на подложках из анодного оксида алюминия / A. B. Якушев [и др.] // Технические средства защиты информации : тезисы докладов ХXII Белорусско-российской научно-технической конференции, Минск, 12 июня 2024 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Т. В. Борботько [и др.]. – Минск, 2024. – С. 99. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/56245 | - |
| dc.description.abstract | Композиционные наноструктуры из анодного оксида алюминия можно
использовать для формирования межслойного вертикального электрического
соединения различных слоев без дополнительных операций формирования отверстий
в межслойной изоляции, что позволяет получать на поверхности последующие слои
с хорошей планаризацией, для формирования различных устройств, используемых
в системах защиты информации. | en_US |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | БГУИР | en_US |
| dc.subject | материалы конференций | en_US |
| dc.subject | композиционные наноструктуры | en_US |
| dc.subject | анодный оксид алюминия | en_US |
| dc.subject | защита информации | en_US |
| dc.title | Изолированные токопроводящие каналы на подложках из анодного оксида алюминия | en_US |
| dc.type | Article | en_US |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2024
|
