| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Достанко, А. П. | - |
| dc.contributor.author | Телеш, Е. В. | - |
| dc.contributor.author | Холенков, В. Ф. | - |
| dc.contributor.author | Вашуров, А. Ю. | - |
| dc.date.accessioned | 2016-03-21T07:31:16Z | |
| dc.date.accessioned | 2017-07-13T11:06:12Z | - |
| dc.date.available | 2016-03-21T07:31:16Z | |
| dc.date.available | 2017-07-13T11:06:12Z | - |
| dc.date.issued | 2016 | - |
| dc.identifier.citation | Достанко, А. П. Физико-химические основы микро- и наноэлектроники. Лабораторный практикум : пособие / А. П. Достанко и др. – Минск : БГУИР, 2016. – 63 с. : ил. | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-985-543-156-6 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/6147 | - |
| dc.description.abstract | Включает лабораторные работы по изучению кинетики и механизмов термического окисления кремния и ионного распыления твердых тел, физических процессов в выпрямляющих контактах металл–полупроводник и в плазме тлеющего разряда, механизмов токопереноса и размерного эффекта в тонких металлических пленках.
Предназначен для закрепления и углубления теоретических знаний студентов, получения практических навыков при работе с измерительным и исследовательским оборудованием. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | учебно – методические пособия | ru_RU |
| dc.subject | лабораторные практикумы | ru_RU |
| dc.subject | наноэлектроника | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектроника | ru_RU |
| dc.subject | физико-химические основы | ru_RU |
| dc.title | Физико-химические основы микро- и наноэлектроники. Лабораторный практикум : пособие | ru_RU |
| dc.type | Book | ru_RU |
| Appears in Collections: | Кафедра электронной техники и технологии
|
