| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Биран, С. А. | - |
| dc.contributor.author | Короткевич, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Короткевич, А. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2016-03-21T07:33:13Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-19T11:45:48Z | - |
| dc.date.available | 2016-03-21T07:33:13Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-19T11:45:48Z | - |
| dc.date.issued | 2014 | - |
| dc.identifier.citation | Биран, С. А. Исследование чувствительности к механическим нагрузкам мембранных элементов МЭМС из анодированного алюминия / С. А. Биран, Д. А. Короткевич, А. В. Короткевич // Технические средства защиты информации : тезисы докладов ХII Белорусско-российской научно-технической конференции, 28–29 мая 2014 г., Минск. – Минск : БГУИР, 2014. — С. 56 - 57. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/6148 | - |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектромеханические системы | ru_RU |
| dc.subject | механические системы | ru_RU |
| dc.subject | анодированный алюминий | ru_RU |
| dc.title | Исследование чувствительности к механическим нагрузкам мембранных элементов МЭМС из анодированного алюминия | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2014
|
