Skip navigation
DSpace logo
  1. Репозиторий БГУИР
  2. Авторефераты диссертаций и отчеты о НИР
  3. Отчеты о НИР
  4. Отчеты о НИР 2015
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/6346
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorТимошков, Ю. В.-
dc.contributor.authorКурмашев, В. И.-
dc.contributor.authorСакова, А. А.-
dc.contributor.authorТимошков, В. Ю.-
dc.date.accessioned2016-04-05T11:40:25Z
dc.date.accessioned2017-07-25T07:45:05Z-
dc.date.available2016-04-05T11:40:25Z
dc.date.available2017-07-25T07:45:05Z-
dc.date.issued2015-
dc.identifier.citationРазработка технологии прецизионных трехмерных структур на основе градиентной литографии сверхтолстых эпоксидных фоторезистов и электрохимического осаждения для технологий массового производства микроэлементов : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель Ю. В. Тимошков ; отв. исполнитель В. И. Курмашев . – Минск, 2015. – 69 с. - № ГР 20143497ru_RU
dc.identifier.govdoc№ ГР 20143497-
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/6346-
dc.description.abstractОписаны основные подходы к формированию 3D микроструктур в современной микроэлектронике. Разработана технология формирования прецизионных реальных 3d-структур на основе сверхтолстых эпоксидных фоторезистов и гальванического осаждения функциональных материалов для использования в технологиях микропечатания, тиражирования вал-на-вал, гальванического микроформования.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.relation.ispartofseriesГБЦ 14-3019;-
dc.subjectотчеты о НИРru_RU
dc.subjectградиентная литографияru_RU
dc.subjectэлектрохимическое осаждениеru_RU
dc.subjectэпоксидный фотогрезистru_RU
dc.titleРазработка технологии прецизионных трехмерных структур на основе градиентной литографии сверхтолстых эпоксидных фоторезистов и электрохимического осаждения для технологий массового производства микроэлементов : отчет о НИР (заключ.)ru_RU
dc.typeTechnical Reportru_RU
Appears in Collections:Отчеты о НИР 2015

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
№ ГР 20143497 (14-3019)_Рук_НИР_Тимошков.pdf
  Restricted Access		6.6 MBAdobe PDFView/Open Request a copy
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.