| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Мацкевич, А. И. | - |
| dc.date.accessioned | 2016-04-06T12:30:51Z | |
| dc.date.accessioned | 2017-07-20T12:14:10Z | - |
| dc.date.available | 2016-04-06T12:30:51Z | |
| dc.date.available | 2017-07-20T12:14:10Z | - |
| dc.date.issued | 2016 | - |
| dc.identifier.citation | Мацкевич, А. И. Формирование глубоких (сквозных) отверстий в Si-подложках для объемных микросборок ИС : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 01 / А. И. Мацкевич ; науч. рук. С. К. Лазарук. – Минск : БГУИР, 2016 . – 6 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/6368 | - |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | ru_RU |
| dc.subject | пористый кремний | ru_RU |
| dc.subject | конденсаторных структуры | ru_RU |
| dc.title | Формирование глубоких (сквозных) отверстий в Si-подложках для объемных микросборок ИС | ru_RU |
| dc.type | Abstract of the thesis | ru_RU |
| Appears in Collections: | 1-41 80 01 Микро- и наноэлектроника
|
