https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/6389
Title: | Мембранные сенсорные элементы на основе анодного оксида алюминия : отчет о НИР (заключ.) |
Authors: | Короткевич, А. В. Чушкова, Д. И. |
Keywords: | отчеты о НИР;алюминий;анодирование;анодный оксид алюминия;микроэлектромеханические системы;наноэлектроника;наноматериалы |
Issue Date: | 2015 |
Publisher: | БГУИР |
Citation: | Мембранные сенсорные элементы на основе анодного оксида алюминия : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель А. В. Короткевич ; отв. исполнитель Д. И. Чушкова . – Минск, 2015. – 40 с. - № ГР 20143846 |
Series/Report no.: | ГБЦ 14-3125; |
Abstract: | Цель исследований – разработка процессов изготовления наноструктурированных мембран на основе анодного оксида алюминия для микроэлектромеханических систем. |
Gov't Doc #: | № ГР 20143846 |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/6389 |
Appears in Collections: | Отчеты о НИР 2015 |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
№ ГР 20143846 (14-3125)_Рук_НИР_Короткевич.pdf Restricted Access | 2.48 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.