| Title: | Принципы конструктивно-технологического формирования емкостных влагосенсорных al o -наноструктур и исследование их чувствительных параметров |
| Authors: | Шиманович, Д. Л. |
| Keywords: | публикации ученых;алюминий;электрохимическое анодирование;пористый оксид алюминия;мембрана;наноструктурированный материал;влагочувствительный элемент |
| Issue Date: | 2015 |
| Publisher: | Тверский государственный университет |
| Citation: | Шиманович, Д. Л. Принципы конструктивно-технологического формирования емкостных влагосенсорных Al2 O3 -наноструктур и исследование их чувствительных параметров / Д. Л. Шиманович // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов : межвузовский сборник научных трудов. - Тверь: Тверский государственный университет, 2015. - Вып. 7. – С. 533 – 540. |
| Abstract: | Разработаны объемно-планарные варианты емкостных МДМ (металл-диэлектрик-металл) структур вертикальной направленности, основанных на высокоорганизованных матрицах свободных мембран пористого оксида алюминия для применения во влагочувствительных элементах. Улучшение чувствительности к влаге, снижение времени отклика и времени восстановления в широком диапазоне измерения относительной влажности были получены благодаря формированию алюмооксидных мембран без барьерного слоя со сквозными и расширенными порами. Такой технологический подход позволил исключить влияние анионов электролита анодирования, встроенных на внешней стороне стенок пор, на механизм адсорбционных и десорбционных процессов влагочувствительных элементов. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/6781 |
| ISSN: | 2226-4442 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
