Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/6930
Title: Алгоритм идентификации объектов топологии микросхем на микроскопных изображениях слоев топологии СБИС
Authors: Питкин, А. Б.
Keywords: материалы конференций;дескрипторы;ключевые точки;тестирование
Issue Date: 2016
Publisher: БГУИР
Citation: Питкин, А. Б. Алгоритм идентификации объектов топологии микросхем на микроскопных изображениях слоев топологии СБИС / А. Б. Питкин // Компьютерные системы и сети : материалы 52-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 25–30 апреля 2016 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: В. А. Прытков [и др.]. – Минск, 2016. – С. 15–17.
Abstract: В процессе производства сверхбольших интегральных микросхем (СБИС), возможно появление дефектов на топологических слоях. Такие дефекты возникают например в процессе переноса изображения или в процессе фотолитографии. Автоматический контроль качества позволит в кратчайшие сроки выявлять различные дефекты. Идея заключается в поиске заданных шаблонов известных дефектов, либо шаблонов с изображением эталонов элементов на значительно большем изображении представляющем собой снимок слоя готовой микросхемы.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/6930
Appears in Collections:Компьютерные системы и сети : материалы 52-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2016)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
210218.PDF348.63 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.