Интегрированная система многокоординатных перемещений для сборочного оборудования микроэлектроники

Abstract

Рассматривается новый подход к построению сборочного оборудования микроэлектроники, согласно которому его система перемещений конфигурируется на многокоординатных приводах и механизмах параллельной кинематики. Управление разработанной системой осуществляется на основе разработанных алгоритмов, использующих цифровую информацию, получаемую от системы технического зрения. Для предложенного механизма параллельной кинематики приведено решение прямой и обратной задач кинематики на основе математических моделей описания его топологии и кинематики. Разработана программа, позволяющая проводить пошаговое моделирование и визуализацию положения и ориентации каретки механизма в соответствии с изменяющимися на каждом шаге входными переменными параметрами. Интегрированная система многокоординатных перемещений позволяет на новой элементной базе создавать перспективное сборочное оборудование микроэлектроники с высокими показателями назначения. Приведена схема встраивания разработанной системы перемещений в оборудование и достигаемые при этом характеристики точности, скорости и ускорения рабочей каретки.