| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Титко, Д. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2016-06-10T11:47:07Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-17T12:12:41Z | - |
| dc.date.available | 2016-06-10T11:47:07Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-17T12:12:41Z | - |
| dc.date.issued | 2015 | - |
| dc.identifier.citation | Титко, Д. С. Метод компенсации погрешности совмещения при контроле топологии планарных структур / Д. С. Титко // Компьютерные системы и сети : материалы 51-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов. (Минск, 13 - 17 апреля 2015 года). – Минск : БГУИР, 2015. – С. 118 - 119. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7438 | - |
| dc.description.abstract | Компенсация погрешности рассогласования координатной системы установки автоматического контроля топологии планарных структур и координатной системы оригиналов топологии является важнейшей процедурой в процессе
выполнения ориентации фотошаблона. Для реализации этого процесса предложен метод компенсации на основе набора поправок с учетом шага мультипликации реперных знаков. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | фотошаблоны СБИС | ru_RU |
| dc.title | Метод компенсации погрешности совмещения при контроле топологии планарных структур | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | Компьютерные системы и сети : материалы 51-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2015)
|
