https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7613
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Горох, Г. Г. | - |
dc.contributor.author | Соловей, Д. В. | - |
dc.contributor.author | Сурганов, А. В. | - |
dc.contributor.author | Семеняков, Л. В. | - |
dc.contributor.author | Шиманович, Д. Л. | - |
dc.contributor.author | Захлебаева, А. И. | - |
dc.date.accessioned | 2016-06-17T11:32:41Z | |
dc.date.accessioned | 2017-07-19T12:59:35Z | - |
dc.date.available | 2016-06-17T11:32:41Z | |
dc.date.available | 2017-07-19T12:59:35Z | - |
dc.date.issued | 2013 | - |
dc.identifier.citation | Разработать технологические процессы формирования нанопористых модифицированных тонких пленок, мембран и подложек из анодного оксида алюминия для высокочувствительных химических сенсоров и гироскопических сенсоров угловых скоростей, изготавливаемых с использованием МЭМС-технологии(заключительный) : отчет о НИР / БГУИР; научный руководитель Г.Г. Горох ; отв. исполнитель Д.В. Соловей . – Минск, 2013. – 65 с. - № ГР 20100047 | ru_RU |
dc.identifier.govdoc | № ГР 20100047 | - |
dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7613 | - |
dc.description.abstract | Разработаны научные основы технологии изготовления анодированных алюминиевых подложек с заданными структурными параметрами. Исследованы методы формирования профилированных анодированных подложек и разработаны методы создания тонких нанопористых мембран в анодированных алюминиевых подложках. | ru_RU |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
dc.relation.ispartofseries | ГБ № 09-1233Б; | - |
dc.subject | отчеты о НИР | ru_RU |
dc.subject | нанопористые подложки | ru_RU |
dc.subject | анодный оксид алюминия | ru_RU |
dc.subject | нанопористые мембраны | ru_RU |
dc.subject | химические сенсоры | ru_RU |
dc.subject | МЭМС-технология | ru_RU |
dc.title | Разработать технологические процессы формирования нанопористых модифицированных тонких пленок, мембран и подложек из анодного оксида алюминия для высокочувствительных химических сенсоров и гироскопических сенсоров угловых скоростей, изготавливаемых с использованием МЭМС-технологии: отчет о НИР (заключ.) | ru_RU |
dc.type | Technical Report | ru_RU |
Appears in Collections: | Отчеты о НИР 2013 |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
№ ГР 20100047 (09-1233Б)_Рук_НИР_Горох.pdf Restricted Access | 7.59 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.