https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7652
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Баранов, И. Л. | - |
dc.contributor.author | Котов, Д. А. | - |
dc.contributor.author | Ясюнас, А. А. | - |
dc.contributor.author | Комар, О. М. | - |
dc.contributor.author | Корзун, К. А. | - |
dc.date.accessioned | 2016-06-21T08:17:12Z | |
dc.date.accessioned | 2017-07-19T12:59:21Z | - |
dc.date.available | 2016-06-21T08:17:12Z | |
dc.date.available | 2017-07-19T12:59:21Z | - |
dc.date.issued | 2013 | - |
dc.identifier.citation | Исследование процессов плазменного проявления и удаления экспони-рованных лазером фоточувствительных материалов для разработки и освоения новой передовой технологии – вакуумной фотолитографии глубокого субмикрона(заключительный) : отчет о НИР / БГУИР; научный руководитель И.Л.Баранов ; отв. исполнитель Д.А.Котов . – Минск, 2013. – 41 с. - № ГР 20113872 | ru_RU |
dc.identifier.govdoc | № ГР 20113872 | - |
dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7652 | - |
dc.description.abstract | В процессе работы проводились экспериментальные исследования по выбору технологии химического усиления фоторезистивного материала, применяемого при формировании устойчивой к плазменной обработке маски. А также проводились работы по исследованию процесса плазмохимического травления химически усиленных фоторезистивных покрытий. | ru_RU |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
dc.relation.ispartofseries | ГБЦ 11-3126; | - |
dc.subject | отчеты о НИР | ru_RU |
dc.subject | силилирование | ru_RU |
dc.subject | глубокий субмикрон | ru_RU |
dc.subject | фоторезистивная маска | ru_RU |
dc.subject | фоторезист | ru_RU |
dc.subject | плазмохимическое травление | ru_RU |
dc.title | Исследование процессов плазменного проявления и удаления экспони-рованных лазером фоточувствительных материалов для разработки и освоения новой передовой технологии – вакуумной фотолитографии глубокого субмикрона: отчет о НИР (заключ.) | ru_RU |
dc.type | Technical Report | ru_RU |
Appears in Collections: | Отчеты о НИР 2013 |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
№ ГР 20113872 (11-3126)_Рук_НИР_Баранов.pdf Restricted Access | 2.28 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.