https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7667| Title: | Автоматическое оборудование контроля топологии фотошаблонов |
| Authors: | Титко, Е. А. Титко, Д. С. |
| Keywords: | материалы конференций;фотолитография;автоматическое оборудование контроля;фотошаблоны |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Титко, Е. А. Автоматическое оборудование контроля топологии фотошаблонов / Е. А. Титко, Д. С. Титко // Компьютерные системы и сети: материалы 50-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (Минск, 24-28 марта 2014 г.). – Минск : БГУИР, 2014. – С. 62. |
| Abstract: | Рассматривается структура оборудования автоматического контроля топологии фотошаблонов, а также основные требования к координатным системам перемещений и оптическим системам получения субпискельного разрешения. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7667 |
| Appears in Collections: | Компьютерные системы и сети : материалы 50-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2014) |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.