Блочно-модульное построение систем перемещений спецтехнологического оборудования микроэлектроники

Поляковский, В. В.; Бегун, Д. Г.; Нестеренко, В. Н.

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Поляковский, В. В.	-
dc.contributor.author	Бегун, Д. Г.	-
dc.contributor.author	Нестеренко, В. Н.	-
dc.date.accessioned	2016-06-21T12:41:24Z	-
dc.date.accessioned	2017-07-17T12:09:16Z	-
dc.date.available	2016-06-21T12:41:24Z	-
dc.date.available	2017-07-17T12:09:16Z	-
dc.date.issued	2014	-
dc.identifier.citation	Поляковский, В. В. Блочно-модульное построение систем перемещений спецтехнологического оборудования микроэлектроники / В. В. Поляковский, Д. Г. Бегун, В. Н. Нестеренко // Компьютерные системы и сети : материалы 50-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 24–28 марта 2014 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: В. А. Прытков [и др.]. – Минск, 2014. – С. 70–71.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7671	-
dc.description.abstract	Представлен блочно-модульный принцип построения многокоординатных систем перемещений для спецтехнологического оборудования микроэлектроники на основе их компоновки из базовых однокоординатных и двухкоординатных модулей на дискретном приводе прямого действия. В результате достигается широкое варьирование параметров движения при выполнении технологических операций.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	БГУИР	ru_RU
dc.subject	материалы конференций	ru_RU
dc.subject	микроэлектроника	ru_RU
dc.subject	блочно-модульное построение	ru_RU
dc.title	Блочно-модульное построение систем перемещений спецтехнологического оборудования микроэлектроники	ru_RU
dc.type	Article	ru_RU
Appears in Collections:	Компьютерные системы и сети : материалы 50-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2014)