| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Титко, Е. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2016-06-23T08:11:30Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-17T12:06:29Z | - |
| dc.date.available | 2016-06-23T08:11:30Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-17T12:06:29Z | - |
| dc.date.issued | 2013 | - |
| dc.identifier.citation | Титко, Е. А. Система перемещений установки автоматического контроля оригиналов топологии / Е. А. Титко // Компьютерные системы и сети : материалы 49-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 6–10 мая 2013 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: В. А. Прытков [и др.]. – Минск, 2013. – С. 98–99. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7731 | - |
| dc.description.abstract | Рассмотрена прецизионная система перемещений, предназначенная для встраивания в установки автоматического контроля оригиналов топологии СБИС. Высокий уровень точности обеспечивается за счет применения датчиков
линейных перемещений на базе интерферометра с двухчастотным лазером. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | фотолитография | ru_RU |
| dc.subject | топология | ru_RU |
| dc.title | Система перемещений установки автоматического контроля оригиналов топологии | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | Компьютерные системы и сети : материалы 49-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2013)
|
